MEMS Sensor微機(jī)電傳感器對(duì)現(xiàn)在的電子產(chǎn)品而言已經(jīng)不是新產(chǎn)物，MEMS傳感器是把模擬的傳感器直接結(jié)合電路組件透過(guò)半導(dǎo)體制成生產(chǎn)的產(chǎn)物，借此縮小通過(guò)傳統(tǒng)工藝難以縮小的傳感器，舉凡智能手機(jī)、汽車(chē)、游戲機(jī)內(nèi)都可看到這類(lèi)的產(chǎn)品，不過(guò)普渡大學(xué)的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新，他聲稱(chēng)已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一套結(jié)合Electro micro metrology（EMM）的工藝制程，可讓傳感器進(jìn)行自我校正，提供更精確的感測(cè)能力，這也是業(yè)界首個(gè)不需要通過(guò)外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構(gòu)。普渡大學(xué)認(rèn)為這項(xiàng)技術(shù)有助于犯罪搜證、環(huán)境檢測(cè)與醫(yī)療診斷提供更好的效果。