剛剛，薄膜沉積設備供應商拓荊科技登陸科創(chuàng)板，發(fā)行價71.88元/股。拓荊科技開盤價為95.01元/股。開盤后，拓荊科技股價最高漲至104元/股，漲幅達44%，之后有所回落。截至芯東西成文，拓荊科技報97元/股，漲幅35%，總市值122億元。

　　薄膜沉積是芯片制造的核心工藝環(huán)節(jié)，晶圓廠通過這種技術制造芯片襯底上的微米或納米級薄膜材料層。薄膜沉積設備和光刻機、刻蝕機共同構成芯片制造的三大主設備。目前這一市場基本被應用材料、泛林半導體、東京電子等國際龍頭占據(jù)，是國產(chǎn)半導體的“卡脖子”環(huán)節(jié)。

　　拓荊科技主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個系列，已廣泛應用于國內(nèi)晶圓廠14nm及以上制程產(chǎn)線，并已展開10nm及以下制程產(chǎn)品的驗證測試。

　　▲拓荊科技產(chǎn)品（來源：拓荊科技官網(wǎng)）

　　拓荊科技是國產(chǎn)薄膜沉積設備龍頭企業(yè)，是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應用的集成電路PECVD、SACVD設備廠商，曾三次被中國半導體行業(yè)協(xié)會評為“中國半導體設備五強企業(yè)”。其產(chǎn)品已應用于中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等國內(nèi)主流晶圓廠，打破了國際廠商對國內(nèi)市場的壟斷。

　　報告期內(nèi)，拓荊科技呈增長趨勢，2018年至2021年1-9月各期營收分別為7064.40萬元、2.51億元、4.36億元和3.74億元。

　　由于股權較為分散，拓荊科技無控股股東或?qū)嶋H控制人。本次IPO，拓荊科技計劃募資10億元，將分別用于“高端半導體設備擴產(chǎn)”、“先進半導體設備的技術研發(fā)與改進”、“ALD設備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”與“補充流動資金”四個項目。

　　▲拓荊科技募資方向與使用安排（來源：拓荊科技招股書）

　　一、排隊9個月，拓荊科技登陸科創(chuàng)板

　　拓荊科技成立于2010年11月，由中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司和孫麗杰分別出資600萬元和400萬元，持有拓荊有限60%和40%的股權。

　　拓荊科技2010年成立后，2011年其首臺12英寸PECVD設備就出廠到中芯國際進行驗證。2013年，拓荊科技的PECVD設備PF-300T通過中芯國際產(chǎn)品線測試，并于次年收獲中芯國際首個量產(chǎn)機臺PF-300T的訂單。

　　2014年1月，孫麗杰將其持有的拓荊有限40%股權轉(zhuǎn)讓給姜謙、凌復華、張孝勇、劉憶軍、張先智等五名外籍專家，以及沈陽盛騰、沈陽盛旺、沈陽盛全、沈陽盛龍四個員工持股平臺。

　　截至拓荊科技上市，姜謙、凌復華、張孝勇、劉憶軍、張先智等人為拓荊科技的前十大自然人股東，不過劉憶軍、凌復華兩人已不在拓荊科技任職，張先智為拓荊科技顧問。姜謙和張孝勇分別為拓荊科技的董事和副總經(jīng)理，也是拓荊科技7位核心技術人員中的2人。

　　2021年7月12日，拓荊科技申報科創(chuàng)板IPO獲受理。截至今天拓荊科技上市，共歷時9個月。

　　二、營收復合增長率近150%，中芯國際為最大客戶

　　報告期內(nèi)，拓荊科技2018年至2021年1-9月各期營收分別為7064.40萬元、2.51億元、4.36億元和3.74億元，近三年復合增長率達148.32%。

　　隨著營收的增長，拓荊科技虧損逐步減少，并在2021年前9個月實現(xiàn)扭虧為盈。其2018年、2019年、2020年和2021年1-9月凈利潤分別為-1.03億元、-1936.64萬元、-1169.99萬元和5704.87萬元。

　　報告期各期，拓荊科技研發(fā)投入分別為1.08億元、7431.87萬元、1.23億元和1.30億元，分別占各期營收的152.84%、29.58%、28.19%和34.65%。由于2018年拓荊科技營收較少，其研發(fā)投入占比超過100%。

　　▲拓荊科技2018年至2021年1-9月各期營收、凈利潤變化

　　具體來說，拓荊科技的主要產(chǎn)品有等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個系列。其中PECVD設備是拓荊科技的核心產(chǎn)品，也是芯片制造薄膜沉積工藝中運用最廣泛的設備種類。

　　招股書透露，拓荊科技已于2018年向某國際領先晶圓廠發(fā)貨了一臺PECVD設備用于先進邏輯芯片制造研發(fā)產(chǎn)線。2020年，該晶圓廠向拓荊科技增訂一臺設備，用于其先進制程試產(chǎn)線。

　　報告期內(nèi)，拓荊科技的PECVD設備收入占比均超過75%，在2019年和2020年該類產(chǎn)品的收入占總營收比例分別達100%和97.55%。

　　▲2018年至2021年1-9月拓荊科技各業(yè)務營收占比

　　作為半導體制造設備廠商，拓荊科技的主要客戶有中芯國際、長江存儲、華虹集團、晶合集成、北京燕東微、粵芯半導體等國內(nèi)主要晶圓廠。

　　▲拓荊科技2018年-2021年前9個月前五大客戶（來源：拓荊科技招股書）

　　拓荊科技的主要原材料采購項目為機械、電器、機電一體、氣體輸送系統(tǒng)等，主要供應商包括萬機儀器、超科林微電子設備（上海）有限公司等。

　　▲拓荊科技2018年-2021年前9個月前五大供應商（來源：拓荊科技招股書）

　　三、核心技術達國際先進水平，6名核心技術人員為外國國籍

　　從全球半導體薄膜沉積設備市場來看，美國應用材料（AMAT）、美國泛林半導體（Lam Research）、日本東京電子、荷蘭先晶半導體（ASMI）等國際設備巨頭占據(jù)主導地位。

　　根據(jù)市場咨詢公司Gartner的數(shù)據(jù)，東京電子和ASMI分別占據(jù)了全球31%和29%的ALD設備市場；應用材料占據(jù)了85%的PVD設備市場；應用材料、泛林半導體和東京電子則分別以30%、21%和19%的市場份額，占據(jù)了七成的全球CVD設備市場。

　　▲全球ALD、CVD、PVD設備市場份額（來源：拓荊科技招股書）

　　相比這些國際半導體設備巨頭，拓荊科技在運營規(guī)模和企業(yè)認知度上存在競爭劣勢。不過在國內(nèi)市場，拓荊科技的核心技術已經(jīng)達到國際水平，其產(chǎn)品可以與海外巨頭進行正面競爭，并拿下一定的市場份額。

　　▲拓荊科技核心技術情況（來源：拓荊科技招股書）

　　公開招標信息顯示，2019-2020年拓荊科技PECVD設備中標機臺數(shù)量占長江存儲、上海華力、無錫華虹和上海積塔四家下游企業(yè)招標總量的16.65%。拓荊科技還獲評中芯國際2020年度最佳合作廠商、華虹宏力2020年度優(yōu)秀供應商等稱號。

　　相比同行業(yè)可比公司，拓荊科技2018年-2020年毛利率低于可比公司平均值。隨著其市場地位和議價能力的提升，拓荊科技2021年前九個月毛利率則高于可比公司平均值。

　　不過需注意的是，拓荊科技是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應用的集成電路PECVD設備廠商，和國內(nèi)可比公司以及國際半導體設備巨頭的業(yè)務模式上存在一定差距。

　　▲拓荊科技與同行業(yè)可比公司毛利率對比（來源：拓荊科技招股書）

　　截至2021年9月30日，拓荊科技的科研人員共189人，占員工總數(shù)的44.06%，其中海外技術專家及高端技術人才十余人。

　　根據(jù)招股書，拓荊科技的核心技術人員共有7人，包括董事長呂光泉、董事姜謙、總經(jīng)理田曉明、副總經(jīng)理周堅、副總經(jīng)理張孝勇、資深技術總監(jiān)葉五毛以及產(chǎn)品部總監(jiān)寧建平。

　　值得注意的是，除產(chǎn)品部總監(jiān)寧建平為中國國籍外，拓荊科技的其余核心技術人員均為外國國籍。

　　呂光泉為美國加州大學圣地亞哥分校博士，1994年8月至1996年4月，他任美國科學基金會尖端電子材料研究中心電子材料副研究員；1996年4月至2007年7月，呂光泉就職于美國諾發(fā)，歷任高級工程師、PECVD工藝研發(fā)部經(jīng)理、項目主任兼工藝研發(fā)高級經(jīng)理、ALD技術高級經(jīng)理；2007年7月至2014年8月，他就職于德國愛思強公司。2014年9月，呂光泉加入拓荊科技。

　　姜謙曾在美國布蘭迪斯大學獲博士學位。1982年1月至1984年6月，姜謙任麻省理工學院材料科學工程中心研究員。1984年7月，姜謙于英特爾就職，歷任工程師、研究員、項目經(jīng)理、部門經(jīng)理等多個職位。此后他在美國諾發(fā)、欣欣科技（沈陽）有限公司擔任過副總裁和執(zhí)行董事職務。2010年4月至今，姜謙任職于拓荊科技。

　　▲拓荊科技董事長呂光泉（左一）和創(chuàng)始人、董事姜謙（右一）

　　田曉明則有美國東北大學電子工程學碩士和新加坡南洋理工大學工商管理碩士學位。1991年9月至1994年12月，田曉明任美國Codi Semiconductor,Inc.工藝開發(fā)經(jīng)理；1994年12月至2008年10月，他就職于泛林半導體，擔任過資深工藝工程師、資深工藝研發(fā)經(jīng)理、資深大客戶經(jīng)理、中國區(qū)技術總監(jiān)等職位；2008年10月至2018年2月，田曉明為尼康精機（上海）有限公司資深副總裁；此后，田曉明就職于拓荊科技。

　　張孝勇為美國馬里蘭大學化學工程博士，曾在美國諾發(fā)歷任工藝開發(fā)工程師、資深工藝開發(fā)工程師、超低介電質(zhì)工藝開發(fā)經(jīng)理、資深重要客戶經(jīng)理等職位。2011年3月，張孝勇加入拓荊科技。

　　周堅為美國德克薩斯A&M大學電氣工程碩士，曾先后任職或就讀于江西郵電科研所、美國德克薩斯A&M大學、Nonometrics Inc.、Mattson Technology, Inc.、Nonometrics Inc.、Ecovoltz Inc.、睿勵科學儀器（上海）有限公司等。2018年11月，周堅進入拓荊科技。

　　葉五毛為加州大學伯克利分校博士，曾在Nashua Computer Products、西部數(shù)據(jù)、Santa Clara, CA、美國諾發(fā)、NegevTech, Inc.、Hitachi High-Technologies America、Honeywell International等企業(yè)任職；2017年8月，葉五毛任拓荊科技資深技術總監(jiān)。

　　寧建平則為貴州大學碩士，正在攻讀大連理工大學博士。2010年7月，寧建平任職于拓荊科技子公司拓荊鍵科，現(xiàn)為拓荊科技產(chǎn)品部總監(jiān)。

　　四、大基金為第一大股東，無控股股東與實控人

　　國家集成電路基金、國投上海和中微公司是拓荊科技的前三大股東，分別持有26.48%、18.23%和11.20%的股份。

　　此外，呂光泉、劉憶軍、凌復華、吳飚、周仁、張先智、張孝勇，以及沈陽盛騰、芯鑫和等11個員工持股平臺均為姜謙一致行動人。因此姜謙通過直接持股和一致行動人，控制了拓荊科技15.192%的股權。

　　▲拓荊科技股權結(jié)構（來源：拓荊科技招股書）

　　根據(jù)拓荊科技的公司章程規(guī)定，其董事會由9名董事組成，包括3名獨立董事。其董事會決議的表決實行一人一票，且董事會做出決議必須經(jīng)全體董事的過半數(shù)通過。

　　在6名非獨立董事中，國家集成電路基金有權提名2位，國投上海、中微公司分別有權提名1名，姜謙及其一致行動人有權提名2名。由于任何單一股東以及一致行動人提名的非獨立董事均不足董事會席位的1/2，拓荊科技不存在控股股東或?qū)嶋H控制人。

　　結(jié)語：盈利能力存疑，核心技術人員外籍人士占比較高

　　拓荊科技作為我國薄膜沉積設備龍頭，基本上代表了我國PECVD等產(chǎn)品的領先水平。本次IPO，拓荊科技將獲得更充裕的研發(fā)資金，并加大自身融資渠道，擴大運營規(guī)模。

　　但值得注意的是，拓荊科技當前收入較為依賴PECVD設備，ALD、SACVD設備處于市場開拓階段，其國際巨頭占據(jù)了絕大部分市場，其盈利有著不確定性。同時，拓荊科技核心技術人員以外來專家為主，在人才培養(yǎng)上或需要更大的投入。